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美国Polycold说明书Polycold水汽捕集泵操作手册中文版

         美国Polycold说明书Polycold水汽捕集泵操作手册中文版美国Brooks Polycold 操作手册825160-00VB中文版。具体介绍了PFC Polycold的原理主要定义: 冷凝机:制冷并将制冷剂泵入制冷管和深冷面的设备。 制冷管:在本手册中是指,连接 PFC 冷凝机和深冷面,并被隔热层包裹的两根管路。 深冷面:安装在客户真空腔中的制冷表面。通常为盘管(水汽捕集用)和冷阱(返油捕集 用)。 ? ? ? 在本手册中,POLYCOLD(PFC)快速循环水汽深冷泵被简写为 PFC。 PFC 是一个低温制冷系统,通过在低温表面凝结效应来捕集挥发性分子。PFC 系统包括冷凝 机,制冷管(供给和回流),和带低温导管的深冷面。冷凝机能通过制冷管和深冷面循环不断 的泵冷热(除霜用)制冷剂。制冷剂为 Brooks 公司专用混合制冷剂。机台热量通过制冷剂转 移到客户提供的冷却水上。 主要应用:开高真空阀后捕集真空腔中水汽。水汽是高真空系统中的常见异物,其占低真空 系统中残余气体的 65%到 95%。 本应用中,深冷面为盘管形式。盘管能随真空腔的抽破真空循环,快速制冷和除霜。

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