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超低温Polycold水汽捕集泵|polycold深冷捕集泵应用简介

Polycold

Polycold是超低温水汽捕集泵、水汽冷凝深冷泵、水汽深冷捕集泵,全称快速循环水汽捕集深冷泵(water vapor cryopump)的一个品牌,Meissner 先生发明了这个产品,(water vapor cryopump)和相关的应用,并注册了品牌Polycold,目前该品牌是属于美国brooks公司,国内用户对这个产品多直接使用Polycold称呼!

应用原理

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。超低温捕集泵水汽捕集深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
水汽捕集泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,深冷捕集泵的冷凝管根据所放的位置不同可以分为两类:
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装。

       新沂凯瑞克制冷科技有限公司生产的超低温水汽捕集泵,具有待机机身温度低、制冷速度快、化霜同时不影响机身温度、二次制冷零等待等优点,自主革命性创新,性能优越可媲美polycold水汽捕集泵!


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